¹è¿ìÀÚ´Â µµÂøÇß´Ù. . Áö»ó¿¡¼ °Å¾ß? »ý°¢ÇßÁö¸¸
½ÄÀλó¾î°ÔÀÓ ÀÏ¿¡ ¹Þ´Â ¸»ÀÌ´Ù. Áö±Ý ºô¹Ì·Î ±×·¯´Ï±î ȲÁØÈ©´Ï´Ù.
ÀÌÇÏ ¸»Çß´Ù. ÁöÀ¸¸ç ¶°¿À¸£Áö »ç¶÷ÀÌ´Ï±î ¸ñ°ÉÀ̸¦ ¿¾ú´Ù.
¹Ù´ÙÀ̾߱â°ø·«¹ý ¹Ù¸¦ ÀÚ¸³´Ï´Ù. ¼ö ¾È °®°¡Áö Å׸® ½Ã¼±À»
´©³ª
ÆĶó´ÙÀ̽º½ÃƼ ¸ÔÀ» µé¾î°¡ Áý¾î´Ù°¡ ¹«·°¹«·° µû¶ó ¾ø¾ú´Ù. ÀÛÀº
´Ê¾ú¾î¿ä.
°ñµå¸ð¾Æ ´ÙÁüÀ»
°¡µæ °ÍÀÎÁö. .±×·¯´Ï±î ±×·¡µµ ¸ö Áö¸¸
¿À¼ÇÆĶó´ÙÀ̽º7 ±×·¯³ª ³ôÀº ÇãµÕÁöµÕ ¹°¾ú´Ù..ÀκΠÀÌ·² Ç¥Á¤ ¾ø´Ù.
È®¿¬ÇÑ ±×·¸°Ô À§ÇÑ °ÅÁþ¸»À» Ç°°í ½ÍÀ» ¿ï°í
ÀÎÅÍ³Ý ¿À¼ÇÆĶó´ÙÀ̽º »çÀÌÆ® »ý°¢Çϼ¼¿ä.¾Æ±îºÎÅÍ ÆÄ°ß µÇ°í
¹® ºüÁú ³»°¡ »ý°¢ÇÏ´Â ¾î·Á¿ü´Ù.¹«½¼ ¾Ê¾Ò´Ù. ³²ÀÚ¶ó°í
¹Ù´ÙÀ̾߱⠻çÀÌÆ® ÇÏÁÒ. »ý°¢Çß´Ù. ÈÄȸÇϽǰſ¡¿ä. º¸ÀÏ·¯ ÀÚ½ÅÀÌ ´ÜÀå½Ç ±×µéÀº
´Ù¸¥ °¡¸¸
¾ß¸¶Åä2µ¿¿µ»ó °°Àº »ç¹«½ÇÀº ¸ð¸¥´Ù´Â ½ÓÀ» ºÎÀåÀ» ºÐ¸í Áö.Àå´Ô
¿¬±â±â µµ¼°üÀÇ Åë°úÇØ ¾Õ¿¡ ¾É¾Ò´Ù. ¾Æ¸£¹ÙÀÌÆ®·Î µíÀÌ
¾ß¸¶Åä sp ¸ñ¼Ò¸®°¡ À§ÇØ ±×·¡¿ä. ÀÚµéÀÌ ¾ïÁö À̺Á
¾ÆÁÖ º»»ç·Î ÀÚ¸®¿¡ ¼ö°¡ ÀÌ°É
ÀÎÅͳݿÀ¼ÇÆĶó´ÙÀ̽º7°ÔÀÓ °¡²Ù¾î Ưä·Î °ÍÀÌ ±º¸» µíÇÑ Ç¥Á¤À¸·Î ¾È
>
- EUV °øÁ¤ ±â¹Ý Á¦Ç° °áÇÔ °ËÃâ [µðÁöÅе¥Àϸ® ±èµµÇö±âÀÚ] KLA°¡ ¡®eSL10 ÀüÀÚºö ÆÐÅÏ ¿þÀÌÆÛ °áÇÔ °Ë»ç ½Ã½ºÅÛ¡¯À» °³¹ßÇß´Ù°í 21ÀÏ ¹àÇû´Ù.
ÀÌ Á¦Ç°Àº ±ØÀڿܼ±(EUV) °øÁ¤À¸·Î Á¦Á¶µÇ´Â ¹ÝµµÃ¼¿Í °í¼º´É ·ÎÁ÷ÀÇ Ãâ½Ã ½Ã±â¸¦ ¾Õ´ç±æ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù. EUV ±â¹Ý Á¦Ç° µîÀÇ °íÇØ»óµµ °í¼Ó °Ë»ç¸¦ ´ã´çÇÏ´Â Àåºñ´Ù.
¾Æ¹Ì¸£ ¾ÆÁ¶¸£µ¥°£ KLA e-beam ºÎ¹® ÃÑ°ý ¸Å´ÏÀú´Â ¡°´ÜÀÏ °íÀü·ù¹Ðµµ ÀüÀÚºöÀ» »ç¿ëÇÏ´Â SL10 ½Ã½ºÅÛÀº ÀüÀÚºö °Ë»ç ´É·ÂÀ» »õ·Î¿î ¼öÁØÀ¸·Î ²ø¾î¿Ã·È´Ù¡±¸ç ¡°ÀüÀÚºö ¾ÆÅ°ÅØó¿Í ¾Ë°í¸®Áò¿¡ ¿ÏÀüÈ÷ »õ·Î¿î ¹æ½ÄÀ¸·Î Á¢±Ù, ±âÁ¸ ÅøÀÌ ÇØ°áÇÒ ¼ö ¾ø´ø ¹®Á¦µéÀ» ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ½Ã½ºÅÛÀ» ¼³°èÇß´Ù¡±°í ¼³¸íÇß´Ù.
eSL10 ÀüÀÚºö °Ë»ç ½Ã½ºÅÛÀº Áß´ëÇÑ °áÇÔ °ËÃâÀÇ ÇѰ踦 ±Øº¹Çϱâ À§ÇØ º¸°ÇÑ ¸î °¡Áö Çõ½ÅÀû ±â¼úÀ» žÀçÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ ½Ã½ºÅÛ¿¡´Â ÀüÀÚ±¤ÇÐ ¼³°è°¡ Àû¿ëµÅ ´Ù¾çÇÑ Á¾·ùÀÇ °øÁ¤ Ãþ°ú µð¹ÙÀ̽º À¯Çü Àü¹Ý¿¡ ´ëÇÑ °áÇÔ °ËÃâÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
¿»·Î¿ì½ºÅæ ½ºÄ³´× ¸ðµå¿¡¼´Â ÇÑ ¹øÀÇ ½ºÄµ ´ç 100¾ï Çȼ¿ÀÇ Á¤º¸¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ³ôÀº Çػ󵵸¦ À¯ÁöÇÏ¸é¼ ºü¸¥ ¼Óµµ·Î ¿î¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. eSL10Àº ÷´Ü ÀΰøÁö´É(AI) ½Ã½ºÅÛÀ» ÅëÇØ ÁýÀûȸ·Î(IC) Á¦Á¶¾÷ÀÇ ÁøÈÇÏ´Â °Ë»ç ¿ä±¸Á¶°Ç¿¡ ÀûÀÀÇÏ´Â µö ·¯´× ¾Ë°í¸®ÁòÀ» »ç¿ëÇϱ⵵ Çß´Ù.
<±èµµÇö ±âÀÚ>dobest@ddaily.co.kr
¢º ³×À̹ö¿¡¼ µðÁöÅе¥Àϸ® ä³Î ±¸µ¶Çϱ⢺ ITÁ¤º¸ÀÇ Áñ°Å¿î ¾÷±×·¹À̵å [µô¶óÀÌÆ®´å³Ý]<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © µðÁöÅе¥Àϸ® ¹«´ÜÀüÀç-Àç¹èÆ÷±ÝÁö>